使用空气作气源时，臭氧产率随浓度的上升快速下降，例如，当臭氧浓度为13g/m3时（1.1%重量比），每度电能产生35浴池水质检测设备克的臭氧，当臭氧浓度为20g/m3时，每度电只能产生28克左右臭氧。如要达到50g/m3的浓度，几乎无产量。因而采用空气作气源时，往往采用10-20g/m3左右的臭氧浓度（1-1.5％重量比）。
以下几个原因使得采用高浓度氧气作为气源成为:，高浓度氧气的生产工艺了气源的纯净和低露点----可轻松达到-60℃以下。第二，高浓度氧气大幅度提高臭氧发生器的效率和性能，例如，采用高浓度氧气（92％）时，当臭氧浓度为50g/m3时（这样的浓度是空气法无法达到的），一个设计优良的臭氧发生器，每度电能产生100克以上的臭氧。第三，研究表明，臭氧的溶解度符合亨利定律。这意味着臭氧的浓度越高，臭氧的溶解效率也就越高。将臭氧浓度从1%提高到4-6%，同样的剂量可以使更多地臭氧溶解在水中而且同时相应的提高处理效果。第四，高浓度臭氧气使得需要溶解的气体体积减少到空气法的1/5,加压泵功耗中有空气法臭氧的1/5。第五，氧气制备系统提供的清洁环境可增加臭氧放电组件的使用寿命，并相应地减少系统的维护费用。现代一般采用分子筛变压吸附法制取高浓度氧气。